基于滤波阵列的长波红外多光谱成像器件及其设计方法

摘要

本发明公开了基于滤波阵列的长波红外多光谱成像器件及其设计方法，该多光谱成像器件能够将长波红外波段的入射光信号分成多个光谱通道，并包括基底和在基底上周期排列的若干个滤波阵列，滤波阵列由多组多层膜结构排列形成；多层膜结构为由高折射率膜层和低折射率膜层交替排列构成的F‑P腔，多层膜结构的膜层数为大于1的奇数，所述多组多层膜结构被配置为能够将长波红外波段的入射光信号分别滤波得到具有不同带宽和不同中心波长的多束透射光以形成多个光谱通道。本发明通过电磁仿真软件结合传输矩阵法计算进行器件设计，具有结构简单、集成度高、可实时成像等优势，可用于危险气体检测、环境监测、遥感等应用长波红外多光谱成像技术的场景。