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基于微F-P腔阵列可调谐滤波器的超光谱成像技术

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基于MOEMS(微光机电)技术,研究了一种微F-P腔阵列的可调谐滤波器.根据设计的不同,调谐范围可在可见光、近红外、中远红外.以8-10 um长波红外为例,设计了微F-P腔的增反膜,中心波长反射率达99.2％.这种调谐滤波器,可以精确、快速调谐波长,体积小,重量轻,在超光谱成像系统中有着广泛的应用前景.

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来源
《中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议》|2006年|140-144|共5页
会议地点西安
作者
马宏; 陈四海;
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作者单位

中国宇航学会;

西北工业大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 V447.3;
关键词
微F-P腔阵列; 超光谱成像; 微光机电; 可调谐滤波器; 增反膜;
入库时间 2022-08-17 10:30:31

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基于微F-P腔阵列可调谐滤波器的超光谱成像技术

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