原位光学腔室表面及处理传感器

摘要

本文揭露的实施方式包含光学传感器系统及使用这些系统的方法。在一实施方式中，光学传感器系统包括：外壳及光学路径，所述光学路径穿过所述外壳。在一实施方式中，所述光学路径包括第一端及第二端。在一实施方式中，反射器位于所述光学路径的所述第一端处，且透镜位于所述反射器及所述光学路径的所述第二端之间。在一实施方式中，光学传感器进一步包括开口，所述开口在所述透镜及所述反射器之间穿过所述外壳。