公开/公告号CN113637941A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 安徽锦华氧化锌有限公司;
申请/专利号CN202110799278.X
申请日2021-07-15
分类号C23C14/08(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构34129 合肥广源知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人徐国法
地址 238100 安徽省马鞍山市含山县仙踪镇江淮小夏4-7幢
入库时间 2023-06-19 13:15:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-28
授权
发明专利权授予
机译: 掺杂镓的氧化锌靶材,制造相同靶材的制造方法以及由该靶材制造的氧化锌薄膜
机译: 氧化锌透明导电膜,用于磁控溅射的烧结紧凑靶材,液晶显示和触控面板以及包含氧化锌透明导电膜的设备
机译: 通过铟,镓,氧化锌靶材的湿式循环制造氧化半导体用氧化镓的方法