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公开/公告号CN113644023A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN202110789832.6
发明设计人 赵春山;康柏;张武志;曹亚民;周维;
申请日2021-07-13
分类号H01L21/762(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人戴广志
地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2023-06-19 13:13:51
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