一种晶托塑料板脱胶装置及脱胶方法

摘要

本发明公开一种晶托塑料板脱胶装置及脱胶方法，晶托上料模块包含上料车、横移式机械臂和晶托翻转装置，晶托脱胶模块包含感应加热机、感应加热线圈和工业冷却机，晶托打磨模块包含气动铲胶刀和气动打磨头，晶托清洗模块包含喷淋管、清洗仓和风干道；本发明利用了金属的特点，采用感应加热的方式，通过把电能转化为磁能，使被加热金属感应到磁能而发热，实现了晶托的快速加热，极大地提升了晶托的脱胶速度，提高生产效率，同时在加热的过程中塑料板与晶托之间的胶层发生软化，塑料板因高温发生翘曲直接与晶托分离，无需多余工装、步骤设计，脱胶效率高，降低了员工的劳动强度。