一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元

摘要

本发明涉及一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元，模块化滑块装置包括静压滑块和节流器，静压滑块与节流器采用模块化设计，组合为一体，节流器与静压腔匹配设置，每个静压腔均匹配有对应的节流器；静压滑块上开设有进油口，进油口与节流器匹配，进油口通过静压滑块内开设的滑块液体流道与对应的静压腔连通，对应的节流器安装在连通进油口与静压腔的滑块液体流道上；本发明的液体静压导轨利用液体静压技术支撑运动部件，具备很高的直线度并可精确实现微小进给运动的分辨率，节流器与静压滑块设计为模块化。通过多路油压管道为每一个静压滑块提供压力，并通过静压滑块上的节流器调节静压油腔内的压力及流量。