泵监视装置、真空泵以及生成物堆积诊断用数据处理程序

摘要

一种泵监视装置，用于诊断真空泵内的生成物堆积，该泵监视装置具备：获取部，其获取表示所述真空泵的泵状态的数据；统计量运算部，其基于由所述获取部获取到的所述数据，来计算每个规定时间间隔的表示数据的分布的宽度的统计量；以及诊断部，其基于所述统计量，输出所述真空泵的与生成物堆积量有关的诊断信息。