公开/公告号CN113632208A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202080024315.3
申请日2020-03-24
分类号H01L21/311(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人唐京桥;李德山
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 13:10:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/311 专利申请号:2020800243153 申请日:20200324
实质审查的生效
机译: 选择性氧化硅/氮化硅蚀刻的蚀刻和钝化气体组分的独立控制
机译: 选择性氧化硅/氮化硅蚀刻的蚀刻和钝化气体组分的独立控制
机译: 用于高选择性氧化硅/氮化硅蚀刻的蚀刻和钝化气体部件的独立控制