一种真空chamber干燥机

摘要

一种真空chamber干燥机，涉及LCD/OLED/半导体加工技术领域，包括干燥机包括由上部室体和下部室体贴合形成的密封设置的真空chamber、密封圈、多个设于下部室体上的真空排气通道、真空抽气装置、多个可升降的升降插销、用于带动所有的升降插销同时进行升降运动的升降装置，下部室体对应每个升降插销设有升降针孔，升降插销可相对升降针孔往复运动，升降装置包括框架以及驱动装置，所有的升降插销均安装在框架上，每个升降针孔对应设置有用于将升降插销保持在气密状态的真空压防漏气装置，真空压防漏气装置的两端分别与下部室体、框架连接，通过设置真空压防漏气装置，防止发生真空漏气现象，同时阻挡外部异物进入真空chamber中，从而减小加工玻璃不良的可能性。