公开/公告号CN113607977A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;
申请/专利号CN202111003715.9
申请日2021-08-30
分类号G01Q60/22(20100101);
代理机构11275 北京同恒源知识产权代理有限公司;
代理人赵荣之
地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号
入库时间 2023-06-19 13:09:01
机译: 太赫兹扫描探针显微镜
机译: 近场扫描光学显微镜,具有微米级探针的纳米级分辨率
机译: 近场扫描光学显微镜,具有微米级探针的纳米级分辨率