电磁场屏蔽板及其制造方法、电磁场屏蔽构造以及半导体制造环境

摘要

本发明提供一种在针对较高频率的电磁场得到高的屏蔽性能的同时，能够减轻重量的电磁场屏蔽板等。电磁场屏蔽板将由坡莫合金的板材或片材构成的坡莫合金层(3)和由Fe‑Si‑B‑Cu‑Nb系非晶的板材或片材构成的非晶层(1)重叠而构成。