尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备

摘要

本发明提供一种尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备。洗涤塔包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；塔体的底部设置有反应槽；进气管路包括进气端及出气端，进气端与设备的尾气排放管路相连接，出气端与反应槽相连接；离心泵与反应槽及进气管路相连通；补水管路一端与供水源相连接，另一端与进气管路的进气端相连接，用于向进气管路内补水，以使尾气和水混合。本发明的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境、避免真空回灌风险、延长排放管路和洗涤塔的使用寿命。采用本发明的尾气洗涤塔、洗涤方法，以及半导体刻蚀设备，有助于降低生产成本和提高设备产出率。