一种衍射光栅线密度测量装置及测量方法

摘要

本发明揭示了一种衍射光栅线密度测量装置，装置设有两个激光器，两个所述激光器射出的激光束分别经自准镜、半波片射入第一合束器，所述第一合束器射出的激光束经光强减弱器、位相片射入第二合束器，所述第二合束器射出两路激光束，其中一路激光束经透镜射入CCD，另一路激光束经待测光栅反射至反射镜，所述反射镜反射的激光束经待测光栅、第二合束器、透镜射入CCD。本发明通过运用双波长衍射法进行线密度测量，实现了一种凹面线密度一体化自动测量装置及测量方法，该方法消除了偏心误差的影响，使得测量更加精准。