公开/公告号CN113590692A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州斐波那契信息技术有限公司;
申请/专利号CN202110914921.9
申请日2021-08-10
分类号G06F16/2458(20190101);G06F16/26(20190101);G06F16/9535(20190101);
代理机构11275 北京同恒源知识产权代理有限公司;
代理人杨慧红
地址 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星湖街328号创意产业园17-A301单元
入库时间 2023-06-19 13:05:40
机译: 植物的操作条件优化系统,植物的操作条件优化方法和植物的操作条件优化程序
机译: 重叠精度测量装置的测量条件的优化方法和曝光装置中对准标记形状或对准标记测量系统的优化方法
机译: 光学位移测量系统,成像条件优化方法和成像条件优化程序