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基于Cu2O介质层生长单层单晶石墨烯的方法

摘要

本发明涉及一种基于Cu2O介质层生长单层单晶石墨烯的方法,该方法将铜箔经预氧化和氢气处理后,在表面制备出一层薄Cu2O介质层,再以Cu2O介质层为基底进行生长石墨烯,使石墨烯生长机制由边缘附着限制变为扩散限制,可显著降低石墨烯的成核密度,同时相对于纯铜箔来说,Cu2O介质层能够减少碳原子的亚表面吸附,有效阻止第二层石墨烯的成核生长,保证单层单晶石墨烯生长。本发明的方法有效减少了铜箔晶界的数量,同时使其变为统一(111)晶面,平坦少晶界的铜箔表面为石墨烯的生长提供了良好的生长环境,同时Cu2O介质层可以降低石墨烯成核密度,加快其生长速度,同时显著抑制石墨烯第二层成核,便于大尺寸单层单晶石墨烯生长。

著录项

  • 公开/公告号CN113564699A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山东大学;

    申请/专利号CN202110808614.2

  • 申请日2021-07-16

  • 分类号C30B25/00(20060101);C30B29/02(20060101);C30B29/64(20060101);C30B1/02(20060101);

  • 代理机构37219 济南金迪知识产权代理有限公司;

  • 代理人张宏松

  • 地址 250199 山东省济南市历城区山大南路27号

  • 入库时间 2023-06-19 13:04:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-02

    授权

    发明专利权授予

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