涡轮分子泵及涡轮分子泵的定子

摘要

本发明提供一种可抑制由气体分子逆流引起的排气性能下降的涡轮分子泵及涡轮分子泵的定子。涡轮分子泵包括：多段的转子翼，形成有多个叶片，并设置于泵轴向上；以及多段的定子翼(30)，相对于多段的转子翼在泵轴向上交替地配置，并设置有多个叶片(301)，各段的定子翼(30)包括多个分割定子翼(30a、30b)，在多个分割定子翼(30a、30b)的相向部形成有间隙(305)，在泵轴向上邻接的各段的定子翼(30)中，间隙(305)的周向相位相互偏移。