微机电系统及其MEMS惯性传感器、制造方法

摘要

本发明公开了一种微机电系统MEMS惯性传感器，包括：第一晶圆，所述第一晶圆的正面设有第一凹槽；第二晶圆，所述第二晶圆包括晶圆框架和质量块，所述晶圆框架与所述质量块之间设有弹簧；所述质量块，所述弹簧与所述第一凹槽形成空腔；所述第二晶圆的背面与所述第一晶圆的正面直接键合；其中，所述质量块包括第二凹槽，所述第二凹槽中填充密度大于硅的金属层；上述MEMS惯性传感器具有更好的感知灵敏度和检测精度。