关于N型硅片测试寿命、样品厚度与体寿命之间对应关系的方法

摘要

本发明涉及一种关于N型硅片测试寿命、样品厚度与体寿命之间对应关系的方法，本发明有效解决现有技术手段在针对厚度较小硅片进行寿命测量时所测得的寿命与其真实体寿命偏差较大的问题；解决的技术方案包括：本发明通过试验N型硅片测试寿命、样品厚度与体寿命之间对应关系进而得出测试寿命、样品厚度与体寿命之间的对应关系式，通过本方案，可以通过测量任一厚度的硅片的测试寿命，进而精准的推算出样品的体寿命，从而实现了更好的管控硅抛光片少子寿命的效果。