一种活塞环表面高结合力超厚DLC涂层的超高速沉积方法

摘要

本发明涉及一种活塞环表面高结合力超厚DLC涂层的超高速沉积方法，该方法包括以下步骤：⑴将活塞环经脱脂、清洗后进行活塞环夹装；将夹好的活塞环放入样品台上，在夹好的活塞环的外围且样品台上放置一个同轴的辅助阴极，密闭抽真空；⑵通入氩气，然后对辅助阴极施加负脉冲偏压，对活塞环表面进行去氧化物清洗和活化；⑶通入氩气和硅烷的混合气体，采用等离子体浸没注入方式进行沉积，得到梯度硅支撑层；⑷通过逐步增加乙炔气流量进行沉积，得到梯度硅掺杂DLC过渡层；⑸通过周期交替调节乙炔的气流量在活塞环表面进行周期交替沉积，得到多层硅掺杂DLC功能层，经自然降温，去真空，取出所述活塞环即可。本发明工艺简单、稳定易于工业化生产。