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金属工件表面光泽度的控制方法及金属薄膜的制备方法

摘要

本公开提供了一种金属工件表面光泽度的控制方法以及制备金属薄膜的方法。金属工件表面光泽度的控制方法包括:提供金属工件;检测金属工件的表面光泽度,得到第一检测值;根据第一检测值不同,采用不同工艺对金属工件进行处理,使金属工件的表面光泽度达到生产需求。使用本公开的控制方法,提高金属工件的表面光泽度,从而改善所形成的金属薄膜的电阻率和膜厚均匀度。

著录项

  • 公开/公告号CN113529087A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;

    申请/专利号CN202110790618.2

  • 发明设计人 邬登辉;

    申请日2021-07-13

  • 分类号C23F3/00(20060101);G01N21/57(20060101);G01R27/02(20060101);

  • 代理机构11453 北京名华博信知识产权代理有限公司;

  • 代理人韩闪闪

  • 地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

  • 入库时间 2023-06-19 12:57:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-11-22

    授权

    发明专利权授予

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