公开/公告号CN113529087A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN202110790618.2
发明设计人 邬登辉;
申请日2021-07-13
分类号C23F3/00(20060101);G01N21/57(20060101);G01R27/02(20060101);
代理机构11453 北京名华博信知识产权代理有限公司;
代理人韩闪闪
地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
入库时间 2023-06-19 12:57:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-22
授权
发明专利权授予
机译: 分散超细金刚石颗粒的金属薄膜,具有该金属薄膜的金属材料及其制备方法
机译: 分散超细金刚石颗粒的金属薄膜,具有该金属薄膜的金属材料及其制备方法
机译: 具有表面纳米结构的金属薄膜模具的制备方法及金属薄膜模具的中间体