金属薄膜を用いた異種材料同時エッチングによる極微細ガラス構造の作製手法

摘要

一般にガラスは、高い透過性、熱耐性、化学的耐性に優れている特徴からディスプレイ、スマートフォン、太陽電池等に広く用いられている。ガラス基板の透明性は、特に太陽電池上の発電効率に大きく関わる要素であることから、表面汚染による光透過性の低下を防ぐため、ガラス基板表面の防汚性が強く求められている。一般に、ガラス表面の濡れ性を親水性にすることで防汚機能の一つである自己洗浄機能を得られることが知られている。具体的には、ガラス表面に二酸化チタンをコーティングすることで、ガラス表面の濡れ性を親水性に変化させ、自己洗浄機能を発揮することが報告されている。また、表面に微細な突起構造を設けることにより濡れ性が促進され、自己洗浄機能に優れた表面が得られることも報告されている。また、太陽電池上でガラス基板の透過率を高めるためには、反射率を低減させる高アスペクトな突起構造が求められる。ガラスにアスペクト比の高い極微細突起構造を均一に作製するためには、従来、エッチングの際の選択比を上げる目的で複数回のエッチングプロセスを組み合わせるなど複雑な工程が必要であった。