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具有导电氧化物带的堆叠波导偏振器

摘要

本发明涉及具有导电氧化物带的堆叠波导偏振器,涉及偏振器的结构以及形成偏振器的结构的方法。偏振器包括第一波导芯以及位于邻近该第一波导芯的侧表面的层。该层由第一材料组成,该第一材料具有虚部在从0至约15的范围的介电常数。第二波导芯位于该第一波导芯上方。该第二波导芯由第二材料组成,该第二材料的组分不同于该第一材料。

著录项

  • 公开/公告号CN113534334A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 格芯(美国)集成电路科技有限公司;

    申请/专利号CN202110274393.5

  • 发明设计人 卞宇生;李袁熙;

    申请日2021-03-15

  • 分类号G02B6/10(20060101);

  • 代理机构11314 北京戈程知识产权代理有限公司;

  • 代理人程伟;王锦阳

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-06-19 12:57:44

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