一种二维电子气型光电导纵向开关及其制作方法

摘要

本发明公开了一种二维电子气型光电导纵向开关，包括半绝缘衬底层，半绝缘衬底层的下方依次制作有重n型掺杂区和阳极，半绝缘衬底层的上方设有外延层。本发明还公开了一种二维电子气型光电导纵向开关的制作方法，本发明提供了开关能够改善漏电流问题，并提高开关的重复频率。