一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备

摘要

本发明公开了一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备，其步骤具体如下：(1)、对活塞环的表面进行预处理；(2)、对活塞环进行预加热；(3)、对活塞环进行清洗刻蚀；(4)、对活塞环进行相应厚度的PVD处理：(5)、完成活塞环的PVD处理工艺；(6)、对活塞环进行涂层质量检查；该装置包含有密闭工作空间、设置在所述密闭工作空间内的抽真空组件、设置在所述密闭工作空间内的放置组件、设置在所述密闭工作空间内的PVD处理组件和实现组件上下移动的升降组件；实现对活塞环的智能化PVD处理，达到降低工作人员的工作强度和保证活塞环的涂层质量的目的。