逐步国产化的星弧高端PVD涂层设备

摘要

物理气相沉积（PVD）是一种在真空状态下,通过气体放电或被蒸发物质部分离化,在基材表面附着一层异性材料的技术,该异性材料（涂层）因能显著改善基材的某些物理化学性能,被以高精度、高品质和低成本为特征的汽车、电子、精密加工及半导体等现代制造业广泛应用。