微腔-氧化钼声学型双曲声子极化激元器件及其制备方法和应用

摘要

本发明提供一种金属微腔‑氧化钼声学型双曲声子极化激元器件，包括自下而上依次设置的基底、金属层、微腔空气层，待检测物质以及氧化钼薄膜；金属层沉积在基底上，在金层上加工具有阵列性的凹槽微腔结构，氧化钼薄膜覆盖金层上，处于凹槽微腔上的氧化钼薄膜呈悬空状态。还提供了其制备方法和应用。相对于其它利用红外光谱探测物质的传感器件结构，本发明可实现极强的光场束缚(模式体积VAPhPs/V0～10‑11)和极大的电磁场增强(～109)，提高了红外光谱探测微量分子的效率，是有效解决单分子红外光谱探测的方案之一。