一种应用于X射线光电子能谱仪的空气敏感样品的转移方法

摘要

本发明公开了一种应用于X射线光电子能谱仪的空气敏感样品的转移方法，该方法将预还原的空气敏感样品直接置于低沸点烃类溶剂中，然后再将低沸点烃类溶剂和样品的混合体系固载到XPS专用样品台上，再将其转移至XPS预抽真空室，待预抽真空至真空度至少5×10‑8Torr后，转移至XPS分析室进行XPS分析。本发明利用烃类物质的惰性且易挥发，通过XPS预抽真空将溶剂全部抽走，保证样品不直接暴露在空气中，简单巧妙地解决了对空气敏感的XPS样品在隔绝空气条件下的转移，可替代操作繁琐且成本昂贵的空气敏感样品的原位在线处理过程。