一种基于光谱共焦色度测量的位移传感装置及使用方法

摘要

本发明公开了一种基于光谱共焦色度测量的位移传感装置及使用方法，其装置由多光谱光源、第一聚焦透镜组、第一分光镜、Y型光纤、第二分光镜、第一准直透镜组、色散聚焦透镜组、XY位移平台、第一颜色传感器、第二颜色传感器、第三颜色传感器、混色原件组成而构成光学检测系统，其有结构设计合理简洁，便于制作，使用操作容易，无需触测量，测量稳定可靠，以及成本价格经济合理的特点；其方法利用被测面板表面的反射特性，使得被测面板表面在色散聚焦透镜组的色散焦点范围内，第一颜色传感器、第二颜色传感器、第三颜色传感器相应接收特定的颜色信号，再利用计算机则相应处理得到相应的颜色坐标值，进而计算出被测面板的面型或厚度。