用于升华法生长氮化铝晶体的复合型坩埚装置

摘要

用于升华法生长氮化铝晶体的复合型坩埚装置。本发明公开了一种生长氮化铝晶体的坩埚装置，包括保温层，其内具有空腔，所述保温层上设置有与所述空腔连通的开口；坩埚，其设置在所述空腔内，坩埚体采用高纯度金属钨材料，坩埚盖采用碳化钽材料。本发明装置能够在保持较高晶体生长速率的前提下，降低晶体的径向温差，从而实现氮化铝晶体的快速稳定生长。