一种基于多层氧化物薄膜结构的折射率传感器

摘要

本发明公开了一种基于多层氧化物薄膜结构的折射率传感器，所述的传感器从下到上包括棱镜、第一层氧化物薄膜、第二层氧化物薄膜和第三层氧化物薄膜。本发明所述的传感器由氧化物薄膜构成，具有结构简单，性能稳定，加工制备过程容易，成本低等优点。本发明所述的传感器具有很高的灵敏度，强度灵敏度可以达到5.69×103/RIU，相位灵敏度可达到3.29×1060/RIU。