一种高分辨率慢正电子束形貌的测量方法及装置

摘要

本发明涉及一种高分辨率慢正电子束形貌的测量方法及装置，属于束流测量技术领域，解决了现有技术中慢正电子束流的诊断精度受探测器分辨率的限制，诊断精度低的问题。该方法包括：根据慢正电子束的目标形貌图像的像素数及稀疏度确定束流掩膜板的数量，并确定每一束流掩膜板对应的稀疏二进制随机矩阵；将慢正电子束流分别照射每一束流掩膜板对应获得多个伽马光子数值；基于每一束流掩膜板的稀疏二进制随机矩阵以及对应的伽马光子数值进行图像重建获得慢正电子束的形貌图像。该方法通过提高束流掩膜板的分辨率从而提高慢正电子束流的形貌图像分辨率，很大程度上提高了诊断精度。