一种多功能性芯片的生产装置及其生产工艺

摘要

本发明属于芯片生产技术领域，涉及一种多功能性芯片的生产装置及其生产工艺，该生产装置包括装置主体，所述装置主体内安装有传送带，所述装置主体内远离传送带的一侧依次安装有出料仓和废料仓，所述出料仓的顶端中部安装有工作台，所述工作台的底端一侧与第一气缸的输出端相连接，所述出料仓的内侧壁上安装有吹料装置，所述出料仓内与吹料装置相对应的位置安装有收料装置，所述工作台的两侧安装有限位装置，所述工作台的上方安装有切割装置，所述废料仓上方安装有废气处理装置，所述废料仓内安装有废料回收装置，所述废料仓顶端安装有移动装置。本发明能够在切割成型过程中对晶圆进行固定，并对产生的废气进行处理。