用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换

摘要

一种用于半导体制造的数据收集系统包含：T个衬底处理工具，其中T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中N个处理室中的每一者包含处理室控制器，处理室控制器被配置成在N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中多个不同类型的数据具有不同的格式，其中处理室控制器被进一步配置成将多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据，并且其中T和N为整数；以及数据诊断服务计算机，其被配置成：接收经格式化的数据并将其按类别存储于共享文档中，共享文档具有表格式数据结构，表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从共享文档中产生包含数据的子集的输出文档。