公开/公告号WO2020167720A1
专利类型
公开/公告日2020-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2020US17606
发明设计人 HUANG CHUNG-HO;WONG VINCENT;BALLINTINE PAUL RONALD;CHAN HENRY;GRINSCHGL NICOLAS;JENSEN JOHN A.;WEETMAN CHAD RUSSELL;UNTERGUGGENBERGER RAINER;
申请日2020-02-11
分类号H01L21/67;G06N20;G05B19/418;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:09:46