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公开/公告号CN113428020A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 陈煜湛;
申请/专利号CN202110814432.6
发明设计人 陈煜湛;
申请日2021-07-19
分类号B60L50/60(20190101);B60L50/61(20190101);B60K25/06(20060101);
代理机构44375 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司;
代理人李华双
地址 中国香港九龙界限街20至22号业利楼3字楼3/FA室
入库时间 2023-06-19 12:42:10
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机译: 一种用于沉积导电态材料的装置-由以气态化合物形式循环的混合物(最好是该材料的卤化物,半导体和气态试剂)循环
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