基于光谱共焦的半球谐振陀螺精密装配装置及其调整方法

摘要

本发明涉及基于光谱共焦的半球谐振陀螺精密装配装置及其调整方法，通过基座和谐振子的位置关系，彩色共聚焦传感器检测二者相对位置关系，并构建了本装置对其X轴、Y轴和Z轴进行调整，同时根据调试过程形成了本装置的检测方法。实现了半球谐振陀螺谐振子与基座电极之间间隙的亚微米级精度精确测量与调整，满足高精度半球谐振陀螺研制要求，推动我国新型惯性器件及武器装备的发展。本发明通过彩色共聚焦传感器的检测，能够检测并调整谐振子与基座电极之间X轴、Y轴和Z轴方向的间隙，提高陀螺装配效率，且间隙一致性调整精度不受位移台定位精度的影响。本发明属于光学非接触测量方法，不会产生接触式测量方法存在的划伤或污染工件表面的问题。