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杨勇; 彭凯; 邓力; 谭品恒; 方仲祺; 雷霆; 余波;
中国电子科技集团重庆声光电有限公司,重庆400060;
中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆400060;
半球谐振陀螺; 电极刻蚀; 平衡调整; 误差; 激光位移传感器;
机译:基于基体角振动的响应,确定半球形谐振陀螺仪的表面不平衡参数
机译:具有m个数据电极和n个控制电极的半球形谐振器陀螺仪
机译:武力重新平衡模式下微半球谐振器陀螺仪组装倾斜误差的建模与补偿
机译:具有球形电极的高对称多晶硅微半球谐振陀螺仪
机译:一种用于调整MEMS谐振器的机械方法。
机译:扁电极半球谐振陀螺仪的合成模型
机译:半球谐振陀螺的鲁棒控制器设计。
机译:平衡金属齿轮谐振器半球形谐振器陀螺的方法
机译:确定固态波陀螺仪的半球形谐振器质量不平衡的方法
机译:确定固态波陀螺半球谐振器质量不平衡的方法
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