用于通过溅射工艺在基底板的表面上形成图案的设备和方法

摘要

本发明是一种用于在基底板(101)的表面上形成图案的设备(100)，其包括两部分真空室(102，103)，具有在真空室部分之间的间隙(110)。基底板竖直地位于所述真空室之间的所述间隙内。在一个真空室(102)中是溅射装置(104)和掩模(105)，以及在另一个真空室中是基底表面加热器(106)。将在其上形成图案的所述基底板的一侧朝向所述溅射装置放置，以及另一侧面向所述基底表面加热器。在所述溅射工艺期间，两个真空室中的压力相等。