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公开/公告号CN113439241A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社理光;
申请/专利号CN202080014915.1
发明设计人 纸英利;浅野友晴;
申请日2020-01-31
分类号G03G5/14(20060101);G03G5/147(20060101);H01L21/31(20060101);H01L51/42(20060101);
代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人张全信
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 12:40:27
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