一种用于CVD碳气相沉积的回转炉碳陶炉管、回转炉及碳陶炉管的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于CVD碳气相沉积的回转炉碳陶炉管、回转炉及碳陶炉管的制备方法。碳陶炉管的制备方法为：以多层碳纤维无纬布和碳纤维网胎交替叠加，针刺复合形成管状结构，管状结构经过热固化处理及化学气相沉积后，得到炉管坯体；将坯体进行机加工，得到精加工炉管坯体；将精加工炉管坯体进行熔融渗硅处理和碳化硅化处理，即得碳陶炉管。该碳陶炉管具有密度低、耐磨损、强度高、抗氧化、无热衰退等优点，特别是不会与氢气及碳氢有机气体发生反应而产生氢脆腐蚀破裂，能够避免硅基负极材料加工过程中引入金属杂质，可广泛应用于CVD碳气相沉积、包覆，氨分解氢等各种工艺的高温炉管。