一种基于气流系统结构控制金刚石沉积速率的方法

摘要

本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种基于气流系统结构控制金刚石沉积速率的方法，包括步骤如下：步骤一：加工反应腔室；步骤二：加工钼托；步骤三：放置钼托；步骤四：抽真空处理；步骤五：维持反应气压，激发等离子体；步骤六；调节气体流量上升反应气压，控制基底温度；步骤七；控制气体流量比例，保持反应气压稳定；步骤八：维持气体流量比例，持续进行金刚石沉积生长；步骤九：调节气体流量降低反应气压，直至关机。采用具有一定的角度空气气体的进入，搭建气流系统结构，气体能够从钼托周围附近流过，使得钼托周围的气体分子数量增加，离解出更多的可供于金刚石生长的活性基团。