一种基于亚波长光栅的超灵敏折射率光生物传感器

摘要

本发明属于生物传感器领域，具体涉及一种基于亚波长光栅的超灵敏折射率光生物传感器，包括石英衬底和依次设置在石英衬底上的金薄膜、含氟聚合物Cytop薄膜层和光栅波导层，光栅波导层为氮化硅材料制成的表面浮雕光栅结构，光栅波导层上方由待测液体样品覆盖。本发明通过在光栅和金属薄膜之间插入了含氟聚合物Cytop薄膜，实现了导模共振极窄的半高宽，而且，计算表明，改变该薄膜的厚度，对入射共振角的影响不大，但半高宽可以得到极大地提高，约为0.0005°，此时的折射率变化为~4x10‑5，因此，本发明可以极大地提高传感器的灵敏度。