MEMS加速度计及其信号处理方法

摘要

本发明涉及MEMS加速度计，包括：第一衬底；检验质量块，弹性连接在所述第一衬底上，且能与所述第一衬底产生相对位移，所述检验质量块包括相对的第一侧、第三侧，以及相对的第二侧、第四侧，所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧和所述第四侧均设有两个移动梳齿；固定梳，固定设置于所述第一衬底上，所述固定梳包括固定梳齿和框架，所述固定梳齿与所述移动梳齿一一对应设置；每个所述固定梳齿和最近的所述移动梳齿组成感测梳，所述感测梳的梳齿方向均垂直于所述加速度计的运动方向。本发明能够在不改变传感器设计和信号处理方案的情况下，实时选择四个加速度量程之一的信号，测量精度高、制造成本低。