通过近红外高光谱成像进行测量的薄膜厚度测量仪

摘要

本发明教导包含测量整个薄膜厚度的方法。所述方法可以包含形成聚合物薄膜(10)以及用同时采集多个点的空间图像和光谱图像的相机(20)来测量所述薄膜(10)的厚度。所述相机可以从所述薄膜的某条线采集线图像。所述相机可以是高光谱近红外相机。在分析在所述测量步骤期间采集的原始数据时，可以使用经典最小二乘分析来校正所述原始数据的条纹。