基于红外法的薄膜厚度测量仪的研制
DEVELOPMENT OF THE FILM THICKNESS MEASURING INSTRUMENT BASED ON INFRARED
摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪论
1.1课题背景及研究的目的和意义
1.2 常见薄膜厚度测量方法
1.3课题国内国内外研究现状
1.4本课题主要内容
第2章 薄膜红外测量系统的硬件设计
2.1薄膜红外测量系统原理
2.2薄膜生产线流程简介
2.3硬件总体设计
2.4硬件各部分设计
2.5串口通信
2.6 本章小结
第3章 薄膜红外测量系统的软件设计
3.1软件总体设计
3.2软件的结构框架设计
3.3软件的系统设计
3.4系统的各个模块设计
3.5 ADO访问数据库
3.6 串口通信技术
3.7本章小结
第4章 实验结果与分析
4.1实验结果
4.2测量多种薄膜厚度
4.3系统误差分析
4.4本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
致 谢