公开/公告号CN113424103A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 飞行安全国际公司;
申请/专利号CN201980087084.8
发明设计人 A.K.斯皮格尔曼;J.K.纳普伦德;
申请日2019-11-20
分类号G03B21/28(20060101);G03B21/62(20140101);G03B21/14(20060101);G03B21/602(20140101);G02B5/10(20060101);G03B21/625(20140101);G03B21/606(20140101);G09B9/32(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人葛飞
地址 美国纽约
入库时间 2023-06-19 12:38:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-18
授权
发明专利权授予
机译: 后投影模拟器带自由形式折叠镜
机译: 具有自由形式的反射镜和自由形式的透镜的投影系统
机译: 反射镜,即自由形式的反射镜,用于极端UV投影曝光系统,用于极端UV微光刻以产生例如电子元件的纳米范围,具有镜面,其中镜具有特定的表面粗糙度