碳化硅衬底抛光用砂轮及其制备方法

摘要

本发明涉及一种碳化硅衬底片抛光用砂轮及其制备方法，该砂轮由基体和磨料层组成，所述磨料层的各原料重量百分比为：金刚石磨料22‑45%、环氧丙烯酸树脂5‑40%、木质纤维素20‑35%、纳米二氧化硅10‑20%。本发明制备的树脂抛光砂轮，采用特殊的真空高压浸渍法和光固化相结合的成型方式，解决粉末树脂粉热压法磨料聚集的难题，磨料在砂轮体系中分散均匀性好，对碳化硅衬片的抛光质量好。同时，木质纤维素形成的三维网状通孔结构，不仅有利于冷却和容屑，磨削能够脆性断裂和剥离形成新的磨削工作层。本发明制备的碳化硅衬底片抛光砂轮可以替代CMP抛光工艺，获得更好的效率和表面质量。