一种溶胶-凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法

摘要

一种溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法，本发明涉及一种制备五氧化二钒薄膜的方法。本发明解决现有真空蒸镀法与溅射法制备的V2O5薄膜存在氧空位较多、工艺稳定性差、沉积速率低，含有低价态的钒氧化物的问题；溶胶‑凝胶法制备V2O5薄膜时需要高温熔融V2O5粉末，陈化时间长，制备周期长，薄膜通常粗糙多孔，质量不高的问题。方法：一、制备V2O5溶胶；二、沉积成膜。本发明用于溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜。