用于汽轮机叶片的耐固体颗粒侵蚀的纳米晶多层硬质薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于汽轮机叶片的耐固体颗粒侵蚀的纳米晶多层硬质薄膜及其制备方法。薄膜包括依次沉积于汽轮机叶片表面的Cr底层、TiAl过渡层、TiAlN过渡层及TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层，TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层为面心立方结构的纳米晶(Ti,Al)(C,N)和Cr2N的两相复合结构，前者为主要相。制备方法如下：清洗汽轮机叶片表面，再将其放到真空腔室内旋转装置上旋转，并进行等离子体清洗，再在汽轮机叶片表面采用多弧离子镀物理气相沉积法依次沉积Cr底层、TiAl过渡层、TiAlN过渡层及TiAlCrCN耐固体颗粒侵蚀薄膜层，完成汽轮机叶片耐固体颗粒侵蚀纳米晶多层硬质薄膜的制备。